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国产65nm大角度离子注入机进入晶圆生产线

发布时间:2020-06-30 16:58:06 阅读: 来源:电热器厂家

由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际(北京)集成电路制造有限公司,开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工艺检验,为这一国产集成电路制造装备实现重大技术跨越作最后的冲刺。

本文引用地址:据了解,这是国产高端离子注入机首次进入300mm主流生产线,表明国内的离子注入机研制已经逐步达到世界主流技术水平。

北京中科信公司研制的65nm大角度离子注入机以满足大规模生产线65nm制程工艺需求为目标,以提升产品工艺性能、整机可靠性及降低成本消耗为设计理念。在不到两年的时间里,北京中科信电子装备有限公司研发团队成功突破了多项关键工艺,完成多项核心研究,实现了设备的工程化制造、关键零部件国产化,完善了系统设计、系统加工、系统集成流程,保证了设备的高可靠性及工艺水平。

长时间的系统的性能测试结果表明,整机生产率、控制精度、软件可靠性、整机自动性能、工艺一致性等指标都有了显著提高,整机性能完全达到甚至部分已经超过了项目合同要求,同时适应国际300mm工艺生产线标准要求。

记者了解到,该设备具备先进工艺控制及故障诊断功能,出厂前已通过用户基本技术指标评估与硬件改进,其主要工艺性能及可靠性、稳定性已取得令人满意的效果。

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